外延工藝是一種薄層生長技術(shù)。能批量生產(chǎn)參雜均勻,厚度一致,晶格結(jié)構(gòu)完整的外延片。利用同質(zhì)外延技術(shù)制備N/N+ 或P/P+ 結(jié)構(gòu)外延片可解決晶體管制作中頻率特性和擊穿功率特性間的矛盾。利用N/P型結(jié)構(gòu)的外延片可以實現(xiàn)雙極型集成電路的元器件之間的隔離,可靠性,成品率大大提高,成本大大降低。
當(dāng)今世界是信息科技時代,由微電子技術(shù)支撐的、以計算機和通信行業(yè)為主的電子信息產(chǎn)業(yè)是未來知識經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè),而半導(dǎo)體硅材料又是這一支柱產(chǎn)業(yè)的最重要、應(yīng)用最廣泛的基礎(chǔ)功能材料,90%以上的大規(guī)模集成電路(LSI)及超大規(guī)模集成電路(VLSI)都是制作在高純**的硅拋光片及外延片上的。我司主要采用硅氣相外延,利用硅的氣態(tài)化合物,主要為SiHCL3, SiH2CL2,這兩種硅化合物在加熱的硅襯底表面與氫反應(yīng)或自身發(fā)生分解,還原成硅,并以單晶的形式沉淀在硅襯底表面,可生產(chǎn)2-6寸CMOS、分立器件、功率器件、IGBT多層外延和埋層外延。
· 我司外延生產(chǎn)設(shè)備主要有:
· MT7700K 筒式紅外加熱外延爐
· MT7811K 筒式紅外加熱外延爐
· RF平板式外延爐(日立),DC6000、DC6000S和DC8600S單片外延爐等共計18臺月產(chǎn)能達(dá)到10萬片。
· 先進檢測設(shè)備:
· 膜厚測試儀:NICOLET 6700
· CV測試儀:CSM4A01和MDC CV測試儀
· 擴展電阻:SSM SRP 2000
· 4PP測試儀:VR-30 VR-70
· 金相顯微鏡:OLYMPUS MX50
· 聚光燈:UIH-3D
外延工廠車間設(shè)備 >>>